2026-07-03 05:57:22

　　1、光刻胶是集成电路制造的核心材料，目前被日本四大企业掌控着全球光刻胶90%以上的高端供应。近年来，一些国家修订出口管制清单，将ArF光刻胶(28—7纳米)、EUV光刻胶(7纳米以下先进制程)正式纳入对华出口管制，并对光刻胶配套树脂、溶剂同步收紧审批。 2、光刻胶树脂国产化的“命门”之扼正日渐逼近眼前。

　　光刻胶（885864）是集成电路制造（884227）的核心材料，在光刻工艺中利用光化学反应，通过曝光、显影、刻蚀等，将掩模版上的电路图案精确转移到硅晶圆上。没有它，再先进的光刻机（886054）也造不出芯片。

　　日本的东京应化、JSR、信越化学、富士电子材料四大企业，掌控着全球光刻胶（885864）90%以上的高端供应。近年来，一些国家修订出口管制清单，将ArF光刻胶（885864）(28—7纳米)、EUV光刻胶（885864）(7纳米以下先进制程)正式纳入对华出口管制，并对光刻胶（885864）配套树脂、溶剂同步收紧审批……

　　光刻胶（885864）树脂国产化的“命门”之扼正日渐逼近眼前。

　　初夏时节的宜兴，湖光潋滟，青山隐隐，竹林层叠，满目苍翠。

　　6月初，走进位于宜兴市区东北部的经济技术开发区内，一幢幢小楼矗立其中。这是一个国家级经济技术开发区，园区规划面积达68.6平方公里，现已形成新能源（850101）产业、新材料产业、光电子产业和先进装备制造产业四大产业集群。在园中光电子产业集聚区的一座小楼上，我们见到了几年前毅然辞去北京化工（850102）大学教授和理学院院长职务，来此创建集萃光敏电子材料研究所的所长聂俊。

　　年近60岁的他，中等个头，热情谦逊，笑意盈盈的脸上透着一丝疲惫感。原来，这座外部看上去极为寻常的小楼，是一年多前才按照光刻胶（885864）树脂合成超净车间的严格要求装修完成的。我在与聂俊坦诚直率的交流中，能时时感知到他性格中的那份果决与执着。

　　“当初决定离职北京化工（850102）大学，到江苏领衔创建光敏材料研究所其实是个‘偶然’。2018年前后，我看到中美、日韩在半导体（881121）行业中发生的‘贸易战’，立刻联想（K80992）到中国在半导体（881121）产业链中那些被人‘卡脖子’的技术短板，其中光刻胶（885864）材料领域受制于人的可能性更大。关键时刻总得有人挺身而出，我为什么就不能成为那一个呢？从本科起到后来出国读博，再到回国后做了近40年的光化学研究，如今我就一心想去突破光刻胶（885864）树脂材料中的那些短板，为中国的半导体（881121）产业发展尽一点绵薄之力。后半辈子我就想做成这一件事，没想到就踩到了时代的节点上。”

　　在聂俊有些自嘲的幽默中，显现出他的全球视野与坚毅的科学攻关精神。

　　聂俊清晰地记得：2018年4月16日的“中兴事件”，2018年10月29日的“晋华事件”，2019年5月16日的“华为事件”，它们都有一个共同点——与半导体（881121）产业密切关联。

　　令他尤为难忘的是2019年7月日本出台半导体材料（884091）出口管制引发的日韩贸易摩擦，管控对象涉及三类关键材料：用于电视和智能手机面板的含氟聚酰亚胺，半导体（881121）制作过程中的核心材料光刻胶（885864）和高纯度半导体（881121）用氟化氢。这三个产品的限制使得韩国半导体（881121）产业几乎陷入“停摆”的危机，凸显出半导体（881121）及相关材料极其重要的战略地位。

　　应该说，上世纪60年代出生的聂俊，不只有着专业上的敏锐，更有着一份炽热的家国情怀，强烈的忧患意识使他再也难以在这一连串事件中静下心来。他深知，我国的半导体材料（884091）研发水平与国际先进水准的差距，远大于芯片设计以及制造环节的差距。

　　当前我国高端先进制程半导体材料（884091）高度依赖日本、韩国、美国、德国等发达国家进口。前些年，本土产线上国产材料的使用率不足15%，这与我国制造业大国的地位十分不符。其中高端制程和先进封装（886009）领域，半导体材料（884091）的国产化率更低，材料的国产替代形势十分严峻，且部分产品还面临着严重的专利技术封锁。

　　聂俊对此理性地分析说：“半导体（881121）制作过程中涉及上百种化学品，任何一个材料的缺失都将导致半导体（881121）行业的瘫痪。未来，国产化必然是‘不留死角’的国产替代，没有实现包括材料与设备在内的产业配套环节的国产化，我国半导体（881121）产业的发展将永远受制于人。眼下，我国生产光刻胶（885864）所需要的原材料在国内几乎是空白，因此，开展半导体材料（884091）的研究迫在眉睫。”聂俊的目光深沉而又坚定。

　　半导体材料（884091）种类繁多，聂俊将其研发重点锁定在光敏电子材料方面，尤其是各种光刻胶（885864）及相关的原材料。光刻胶（885864）产品的性能和品质，与集成电路工艺线宽、曝光工艺效率以及芯片良率、可靠性等直接相关。没有它，再先进的光刻机（886054）也造不出芯片。

　　放眼国内，我国光刻胶（885864）产业长期处于极其缓慢的发展状态，几年前国内企业仅仅能供应i线），市场占有率也只有20%左右，所需要的部分重要原材料仍需进口；KrF光刻胶（885864）国产化率不足5%；ArF光刻胶（885864）仅有几家企业处于研发及验证阶段，尚未形成批量应用；EUV光刻胶（885864）还处于研发初期，一方面是受到EUV光刻机（886054）的进口限制，另一方面是其市场尚未形成。

　　光刻胶（885864），直接影响了我国企业的生产。“如果对方采用制约手段使其断供呢？就意味着我国整个芯片制造将被迫停产。”这起偶发事件对聂俊的冲击很大，一直令他耿耿于怀。

　　化工（850102）大学任教授、博导。

　　光刻胶（885864）用光引发剂的研发及产业化”，获中国感光学会科技进步奖一等奖。多年来，他先后发表文章300余篇，申请专利超过400项，授权300余项。凭借深厚的跨学科专业实力，聂俊勇敢地选择攻关克难，迎接未知的挑战，也决然地改变了人生后半场的轨迹。

　　化工（850102）大学在常州建有北京化工（850102）大学常州先进材料研究院，聂俊一度担任常州先进材料研究院副院长。在江苏的几年里，他对江苏省产业技术研究院“拨投结合、团队控股”的机制了解得比较多。因此，他主动联系了江苏省产业技术研究院刘庆院长。

　　在获知他的设想后，刘庆为他的家国情怀深深感动，支持他尽快启动调研立项。此时恰逢疫情，江苏省产业技术研究院技术经理人团队陪同聂俊克服无数困难，深入调研产业情况及组建团队，历经数月聂俊提供了创建集萃光敏电子材料研究所的完善方案。江苏省产业技术研究院进行详细的技术及市场尽调后，建所方案获得评审通过。

　　半导体（881121）产业基地，特别是上海和无锡作为中国电子产业超千亿量级的城市，其深厚的产业集群优势是其他地区所难以企及的。同时，长三角区域的开放创新走在全国前列，也更有利于聂俊团队吸引更多的高端研发人员加盟。

　　江苏省产业技术研究院实施的“团队控股、轻资产运行”的研究所混合所有制模式，给了聂俊以极大的底气与定力。研发团队、地方园区和省产业技术研究院以现金出资共同组建轻资产运营公司，场所、设备与研发经费都由地方园区和江苏省产业技术研究院提供。运营公司则由研发团队肯定控股，研发成果的所有权、处置权和收益权都归属运营公司，这些都蕞大限度地确保了团队的积极性。

　　周期（883436）为五年，这是极大的包容。”聂俊说，“光刻胶（885864）这一市场非常小，有400多个品种，国内市场规模据测算仅有四五十亿左右。但是，集萃光敏电子材料研究所解决的是从‘无’到‘有’的问题，在此基础上才能考虑商业化和产业化的目标。”

　　光刻胶（885864）原材料的，但是一到实际运行则远不是预想的那么简单。聂俊发现，做光刻胶（885864）原材料面临两个蕞核心的问题：一是高度纯化；二是高度稳定性。高分子树脂合成的纯度必须达到100%，99.99%都不行。即使在高分子聚合中达到了这样的高纯度，还必须有承载高纯度产品的一系列设备。

　　光刻胶（885864）及其原材料已有60多年的历史，而聂俊带领他的团队在短短的3年多时间里，硬是靠着一丝不苟、严谨到近乎苛刻的努力，实现了纯化工（850102）艺与纯化设备的自主开发。

　　任何创新与团队的成长都是有成本的。一次他们先后给客户提供了两批产品，客户回馈说第二批的产品纯度出现问题，这让聂俊大吃一惊。两批产品的合成方式与流程都是一样的，为什么会出现纯度不稳定现象？他们在内部一个一个环节倒查，蕞后一位工程师说，在生产第二批次产品时恰巧有一根管子出现问题，他临时替换了一只塑料管。就因为这一个细节的疏忽，导致第二批产品全部报废，造成直接损失达几十万元。

　　光刻胶（885864）保质期一般仅有6个月，不能长期存放。聂俊透露，就连盛装光刻胶（885864）的玻璃“瓶子”也只能保质6个月，6个月后这只“瓶子”就会自动作废。眼下，这种玻璃“瓶子”也主要从日本进口，必须提前3个月预先交款订货，有时还难以保证及时供货。令人欣慰的是，这种特制的玻璃瓶在国内也已进入研发阶段。

　　光刻胶（885864）树脂中试放大的难题时，聂俊又及时得到了江苏省产业技术研究院“拨投结合”项目资金的支持，助力其在泰州化工（850102）园区孵化成立了集萃聚合新材料有限公司，开展光刻胶（885864）树脂中试放大及产业化。江苏省产业技术研究院材料事业部主任李倩表示：“对这类国家战略急需的关键小众产品，在其市场融资失灵阶段，就应该是财政资金‘投早投小’的关键着力点。”

　　“拨投结合”是江苏省产业技术研究院进行科技改革的投资新模式，即在对项目进行全面研判的基础上，先通过科技项目立项给予团队研发资金支持，在项目进展到里程碑阶段、得到市场认可并进行社会融资时，再将前期的研发资金按市场价格转化为投资，参照市场化方式进行管理和退出。如果创新项目未能实现产业化，则通过勤勉尽责考核予以宽容失败。据了解，江苏省产业技术研究院已按照“拨投结合”模式先后培育了160余项前瞻性、战略性及引领性技术创新项目落地，其中20余家项目公司完成市场化融资，多项成果打破了国外垄断，而聂俊团队的

　　光刻胶（885864）项目正是其中较为突出的一个。

　　半导体（881121）芯片光刻胶（885864）树脂产品都已通过客户测试，其中KrF光刻胶（885864）树脂已进入连续稳定供货阶段，是国内光刻胶（885864）头部企业的供货单位。

　　半导体（881121）产业发展面临的现实挑战是严峻的。聂俊团队凭借前期布局和孵化，江苏集萃聚合新材料有限公司现已完成A轮数千万元的融资，投后估值约4亿元，目前正在泰州如火如荼地建设规模化生产线）树脂，以保障我国高端光刻胶（885864）树脂供应。所有的一鸣惊人，都是厚积薄发。聂俊和他的团队全力破解

　　树脂的“命门”之扼，正一步步走向行业国产替代的大目标，而他们仅仅是中国半导体（881121）产业链自主突围的一个缩影。

　　配图：张晓贞(人物原画)+AI辅助绘制

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